晶圆传输设备（EFEM）及部件自动传片机（Sorter）
- 根据用户功能要求，提供定制化传送解决方案
- 提供多种配置选型，包括机架、承载台、洁净机器人、晶圆夹持方式、净化微环境
- 提供多种布局方案(2~10个装载端口)
- 支持定制化的自主控制程序· 具有100/150/200/300mm多规格晶圆兼容分选能力
- 提供特殊工艺制程传送解决方案，包括耐高温、耐腐蚀等
- 提供TMC软件定制化开发
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