真空传送模块（VTM）
Based on Brooks经典VTM, 支持可定制整套解决方案, 稳定可靠;性能与Brooks VTM一致; TMC软件系统可定制开发,支持客户定制化需求
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- Based on Brooks经典VTM, 支持可定制整套解决方案,
- 稳定可靠;性能与Brooks VTM一致;
- TMC软件系统可定制开发,支持客户定制化需求
