SMIF设备
精确和可靠的运动控制 传送周期<90s; 方向误差<0.2mm; 重新定位精度127mm; 洁净等级优于Class1;
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- 精确和可靠的运动控制
- 传送周期<90s;
- 方向误差<0.2mm;
- 重新定位精度127mm;
- 洁净等级优于Class1;
